明白 ?
在 SECS/GEM 架構里，設備日志（Equipment Logging 主要涉及 事件日志（Event Log）、報警日志（Alarm Log）、配方操作日志（Recipe Log）、以及用戶操作/命令日志。這些日志通過 SECS-II 消息由設備（Equipment）報告給 Host，也可以由 Host 主動請求。
我幫你系統整理一下：
🔹 1. 日志的分類
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事件日志 (Event Log)
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用于記錄設備狀態變化、生產事件，例如 Lot Start, Wafer Start, Wafer End, Lot End 等。
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常用消息：
S6F11 (Event Report)：設備主動發送事件S1F3/S1F4：狀態變量查詢（Host 定期取狀態）
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報警日志 (Alarm Log)
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設備報警觸發/解除時上報，便于 Host 監控。
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常用消息：
S5F1 (Alarm Report Send)→ HostS5F2 (Alarm Report Acknowledge)← HostS5F5 (List Alarm Request)→ 設備S5F6 (List Alarm Data)← 設備
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配方操作日志 (Recipe Operation Log)
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記錄 配方下載、上傳、選擇、刪除等操作。
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常見相關消息：
S7F3/S7F4：配方下載S7F5/S7F6：配方上傳S2F41/S2F42：配方選擇（PP-SELECT）S7F23/S7F24：配方刪除
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通常會結合
S6F11 Event Report觸發“誰在什么時候做了什么配方操作”的日志。
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用戶操作/命令日志 (Operator/Command Log)
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記錄本地操作員或 Host 發送的命令，例如：
S2F41 (Host Command Send)：Host 請求S2F42 (Host Command Acknowledge)：設備響應
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日志會包含 時間戳、操作人ID、命令、執行結果。
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🔹 2. 日志的典型內容
一個日志條目通常包含：
- 時間戳（Timestamp, T8 格式）
- 事件/報警/操作類型
- 相關參數（如 Recipe 名稱、Alarm Code、Lot ID、Wafer ID 等）
- 結果/狀態（成功 / 失敗 / ACK 碼）
- 觸發來源（Host / Local Operator / Equipment 自動）
示例（配方下載日志）：
[2025-09-05 16:00:01] Host → Equipment : S7F3 Send Recipe RCP01 (Size=12KB)
[2025-09-05 16:00:02] Equipment → Host : S7F4 Ack=0 (OK)
示例（報警日志）：
[2025-09-05 16:05:22] Equipment → Host : S5F1 Alarm Occurred (ALID=201, Text="Vacuum Low")
[2025-09-05 16:05:24] Equipment → Host : S5F1 Alarm Cleared (ALID=201)
🔹 3. Host 對日志的操作方式
- 實時接收：通過
S6F11事件報告、S5F1報警報告，Host 實時寫入日志系統。 - 定期采集：Host 使用
S1F3/S1F23請求設備狀態或采集計數器（例如 OEE 數據）。 - 歷史回溯：有些設備支持通過專用命令獲取歷史日志（非 SEMI 標準，通常是廠商擴展）。
🔹 4. 日志應用場景
- 生產追溯：配方選擇、工藝執行、Lot/Wafer 流轉
- 異常追蹤：報警發生與清除
- 質量保證：配方版本與執行情況記錄
- 合規性：部分半導體工廠要求完整的日志存檔
要不要我幫你做一張 “設備日志類型 → SECS-II 消息對照表”（像你之前要的配方管理那種對照表），這樣查起來更直觀？
