【氮化鎵】不同偏壓應力下電荷俘獲效應導致的P-GaN HEMT閾值電壓不穩定性

2022年12月7日,意大利國家研究委員會微電子與微系統研究所的Giuseppe Greco等人在《Applied Physics Letters》期刊發表了題為《Threshold voltage instability by charge trapping effects in the gate region of p-GaN HEMTs》的文章,基于對p-GaN高電子遷移率晶體管(HEMTs)在不同偏置應力條件下的柵極電流密度監測,研究了其閾值電壓不穩定性,實驗結果表明,閾值電壓的不穩定性源于金屬/p-GaN/AlGaN/GaN系統中不同界面處的電荷俘獲效應,且在不同應力偏置水平下,電子(VG < 6 V)或空穴(VG > 6 V)的俘獲會導致閾值電壓正向或負向漂移,該研究結果對提高p-GaN HEMTs的可靠性和穩定性具有重要意義。

本文的關鍵性結論如下:

  1. 閾值電壓

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