【Cadence仿真技巧學習筆記】求解65nm庫晶體管參數un, e0, Cox

  • 在設計放大器的第一步就是確定好晶體管參數和直流工作點的選取。
  • 通過閱讀文獻,我了解到L波段低噪聲放大器的mos器件最優寬度計算公式為
    W o p t . p = 3 2 1 ω L C o x R s Q s p W_{opt.p}=\frac{3}{2}\frac{1}{\omega LC_{ox}R_{s}Q_{sp}} Wopt.p?=23?ωLCox?Rs?Qsp?1?
  • 根據設計指標我們得知,L波段的中心頻率為1.3GHz,取 ω 0 = 1.3 G H z , R s = 50 Ω , γ = 2 , δ = 4 , α = 1 , V d d = 1.2 V , L = 0.13 u m , E s a t = 4 × 1 0 6 V / m \omega_{0}=1.3\mathrm{GHz},R_{s}=50\Omega,\gamma=2,\delta=4,\quad\alpha=1,\quad V_{dd}=1.2\mathrm{V},\quad L=0.13\mathrm{um},\quad Esat=4\times10^{6}\mathrm{V/m} ω0?=1.3GHz,Rs?=50Ω,γ=2,δ=4,α=1,Vdd?=1.2V,L=0.13um,Esat=4×106V/m
  • 進而我們可以得到最優品質因子Qsp為4
  • 那么我們還剩下單位面積柵氧化層電容Cox是未知量
  • 下面我介紹兩種求解得到Cox的方法

方法一:尋找

  • 以tsmcN65工藝庫為例,找到工藝庫對應的參數文件,其路徑為

在這里插入圖片描述
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  • 打開后先搜索對應的晶體管,這里我使用到的晶體管是nmos_rf,
  • 可以看到,在這個工藝庫模型文件中,其定義說明了晶體管的nr,lr,wr的范圍,并說明了其額定工作電壓為1v。
    在這里插入圖片描述
  • 然后搜索相對真空介電常數epsrox,其值為3.9,這是表示SiO? 的介電常數
    在這里插入圖片描述
  • 然后搜索等效柵氧化層厚度toxe,其值為2E-9,
    在這里插入圖片描述
  • 載流子遷移率:u0,其值為0.02232
    在這里插入圖片描述
  • 然后根據單位面積柵氧化層電容公式
    C o x = ? o x t o x C_{ox}=\frac{\epsilon_{ox}}{t_{ox}} Cox?=tox??ox??
  • 其中 ? o x \epsilon_{ox} ?ox?是 SiO? 的介電常數,通常取值:
    ? o x = 3.9 × ? 0 = 3.9 × 8.854 × 1 0 ? 12 F / m ≈ 3.45 × 1 0 ? 11 F / m \epsilon_{ox}=3.9\times\epsilon_0=3.9\times8.854\times10^{-12}\mathrm{F/m}\approx3.45\times10^{-11}\mathrm{F/m} ?ox?=3.9×?0?=3.9×8.854×10?12F/m3.45×10?11F/m
  • tox是氧化層厚度,取決于 CMOS 工藝節點。例如:
    ? t o x ≈ 2 n m = 2 × 1 0 ? 9 m ( 65 n m 工藝 ) \bullet\quad t_{ox}\approx2\mathrm{nm}=2\times10^{-9}\mathrm{m}(65\mathrm{nm}\text{工藝}) ?tox?2nm=2×10?9m(65nm工藝)
    ? t o x ≈ 1.5 n m = 1.5 × 1 0 ? 9 m ( 45 n m 工藝 ) \bullet\quad t_{ox}\approx1.5\mathrm{nm}=1.5\times10^{-9}\mathrm{m}(45\mathrm{nm}\text{工藝}) ?tox?1.5nm=1.5×10?9m(45nm工藝)
    ? t o x ≈ 1.2 n m = 1.2 × 1 0 ? 9 m ( 32 n m 工藝 ) \bullet\quad t_{ox}\approx1.2\mathrm{nm}=1.2\times10^{-9}\mathrm{m}(32\mathrm{nm}\text{工藝}) ?tox?1.2nm=1.2×10?9m(32nm工藝)
  • 最終可得
    C o x = 3.45 × 1 0 ? 11 2.5 × 1 0 ? 9 = 1.38 × 1 0 ? 2 F / m 2 C_{ox}=\frac{3.45\times10^{-11}}{2.5\times10^{-9}}=1.38\times10^{-2}\mathrm{F/m}^{2} Cox?=2.5×10?93.45×10?11?=1.38×10?2F/m2

方法二:ADE打印

  • 首先搭建好晶體管的仿真電路圖
    在這里插入圖片描述
  • 然后進行dc直流仿真
    在這里插入圖片描述
  • 運行仿真后點擊Tools->Results Browser
    在這里插入圖片描述
  • 在左側欄的model文件夾下找到對應的晶體管,然后就可以找到對應的模型參數了
    在這里插入圖片描述

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