知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區，點擊加入）里的學員問：電鍍的陽極有什么講究？什么是可溶性陽極和非可溶性陽極？

什么是可溶性陽極與非可溶性陽極？

可溶性陽極

陽極本身就是被電鍍的金屬材料，在電鍍過程中會發生氧化反應而溶解，為電解液持續補充金屬離子。

電流通過后：

陰極（晶圓）發生金屬離子還原 → 金屬沉積

陽極發生金屬氧化反應 → 金屬原子進入電解液成為離子

不可溶性陽極

陽極采用不參與電化學反應的惰性材料，僅起導電作用。金屬離子完全來自電鍍液中預添加的金屬鹽。

工作原理

陰極：金屬離子還原沉積

陽極：水或其他離子發生氧化（如放出氧氣），陽極不溶解

陽極的材質有哪些？

可溶性陽極：

電鍍類型	常用陽極材質
銅電鍍	磷銅陽極（Cu-P） ，含0.04%~0.08%磷，可防止陽極泥生成，提高穩定性
鎳電鍍	電解鎳板或球狀鎳 （高純度Ni）
金電鍍	金板或金絲 ，較少使用，成本高
錫電鍍	錫條或Sn合金

不可溶性陽極：

材料常見選擇	適用場景
鉑涂層鈦網（Pt/Ti）	貴金屬電鍍（如金、銠）
銥鉭涂層鈦（Ir-Ta/Ti）	穩定性高，適用于酸性鍍液
石墨	鎳、鋅等電鍍中有時也會使用，成本低
不銹鋼	某些實驗室電鍍工藝或特殊研究用途

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