目錄

一、基本概念

二、靜態PAT

三、動態PAT

四、參考鏈接：

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一、基本概念

零件平均測試（Part Average Testing，PAT）是一種基于統計學的質量控制方法，主要用于半導體制造中篩選出與正常參數范圍偏差較大的“異常值”芯片，以提高產品質量和可靠性；

二、靜態PAT

靜態PAT limits（Static PAT Limit）：基于一定數量的測試數據預先設定，并在一段時間內保持不變。

靜態PAT限制通常每6個月或每8個晶圓lots更新一次，計算公式為：Static PAT Limits = Robust Mean ± 6 Robust Sigma；

從每個lot中隨機選取30個以上器件進行測試，每個晶圓不同區域至少5個芯片（每個批次30個以上芯片），用于確定穩健平均值和sigma值（Robust mean、Robust Sigma）；

Robust Mean的計算方式：將數據按照從小到大排列，Robust Mean為中位數或中間兩個數據的平均值；

Robust Sigma的計算方式：通過四分位數間距來計算，將數據從小到大排序，計算第一四分位數（Q1，即25%