一、超厚銅板制造工藝要點
超厚銅板(3oz 及以上)的制造工藝對精度和穩定性要求嚴苛,核心環節需突破多重技術壁壘。
蝕刻工藝中,因銅箔厚度達 105μm 以上,需采用高濃度酸性蝕刻液(氯化銅濃度控制在 180-220g/L),配合雙噴淋系統,主噴淋壓力設為 2.5-3.0bar,輔助噴淋壓力 1.5-2.0bar,通過差異化壓力控制減少側蝕,確保線路邊緣垂直度≥85°。
壓合環節需解決熱匹配問題,采用分步加壓法:室溫階段壓力維持 0.8-1.0MPa,120℃時升至 1.5-1.8MPa,180℃固化階段穩定在 2.0-2.2MPa,同時將升溫速率控制在 2-3℃/min,避免因熱應力導致的基板翹曲(翹曲度需≤0.7%)。
電鍍工藝則依賴脈沖電鍍技術,選用低濃度硫酸銅溶液(Cu2+濃度18-22g/L),脈沖占空比設定為 30%-50%,通過高頻脈沖(800-1200Hz)改善電流分布,使鍍層厚度偏差控制在±3%以內,且孔隙率≤1個/cm2。
二、超厚銅板設計要點
設計需兼顧性能與工藝可行性,關鍵參數包括:
線路寬度與間距:3oz 銅箔推薦線寬≥0.2mm,間距≥0.25mm,避免蝕刻殘留;6oz 及以上規格需放大至 0.3mm 以上,同時采用弧形拐角(曲率半徑≥0.5mm)減少電流集中。
散熱設計:需設置散熱過孔(直徑 0.6-0.8mm,孔密度≥5 個 /cm2),且與銅箔區域直接連接,過孔焊盤直徑比孔徑大 0.4mm 以上,增強熱傳導路徑。
層疊結構:多層超厚銅板建議采用 “對稱設計”,上下表層銅厚差≤1oz,內層與外層銅厚比控制在1:2-1:3,平衡層間應力,降低翹曲風險。
此外,焊盤設計需預留阻焊開窗(比焊盤大 0.1-0.15mm),避免阻焊劑流入影響焊接,且邊緣銅箔需做倒圓處理(半徑 0.1mm),防止基材開裂。