在高端制造領域，精度是衡量產品質量的關鍵指標之一。激光干涉儀作為一項高精度測量技術，其應用廣泛，對于提升產品制造精度具有重要意義。

線性測量：精確定位的基礎

激光干涉儀采用邁克爾遜干涉原理，實現線性測量。該原理通過激光束的分光與反射，形成干涉條紋，進而測量物體的位移。線性測量的應用包括機床、三坐標測量機等設備的定位精度、重復定位精度以及反向間隙的測量與分析。

角度測量：轉動精度的守護者

角度測量是激光干涉儀的另一項重要功能。通過測量反射光的光程差，干涉儀能夠精確地得出角度值。這項技術廣泛應用于測量運動軸的角擺和轉軸的旋轉角度，如直驅電機的旋轉角度測量。

直線度測量：確保平直無誤

直線度測量是評估物體直線性的重要手段。激光干涉儀通過測量移動過程中產生的橫向或縱向位移，來確定物體的直線度。這項功能特別適用于導軌等部件的直線度檢測。

平行度與垂直度測量：空間幾何的精確控制

平行度和垂直度測量是激光干涉儀在二維和三維空間中的擴展應用。通過兩組直線度測量，干涉儀能夠計算出平行度和垂直度誤差，這對于確保機械部件在空間中的精確定位至關重要。

平面度測量：表面平整性的檢測

平面度測量利用“對角法”在平面上進行角度測量，通過軟件算法將角度變化轉換為平面上的高度變化，從而評估整個平面的平整性。這項技術對于大理石平臺等平面度要求高的場合尤為重要。

回轉軸測量：旋轉精度的評估

激光干涉儀結合WR50自動精密轉臺，能夠實現回轉軸的高精度測量。這種測量方式不僅能夠評估軸的旋轉精度，還能夠通過偏心軸測量附件，對那些難以直接安裝在軸心的部件進行測量。

動態測量：運動性能的全面分析

動態測量是激光干涉儀的高級功能之一。通過動態測量軟件，干涉儀能夠對機器運動進行位移、速

度、加速度、振幅和頻率的分析，這對于評估機器的運動控制性能和振動特性至關重要。 結語

激光干涉儀以其高精度、多功能的特點，在精密測量領域發揮著重要作用。無論是線性、角度、直線度、平行度、垂直度、平面度還是回轉軸的測量，激光干涉儀都能夠提供可靠的數據支持，幫助制造商提升產品質量，確保精密制造的高標準。隨著技術的不斷進步，激光干涉儀的應用領域將更加廣泛，為高端制造貢獻更多力量。