一、基礎光學參數測量儀器 - 頻率/波長/功率
- 光學顯微鏡
- 用途:觀察微小物體的顯微圖像,用于材料科學、生物學等領域。
- 特點:高放大倍數和分辨率,可清晰顯示微觀結構。
- 光譜分析儀
- 用途:測量發光體的輻射光譜,分析物質成分和結構。
- 特點:關注波長范圍(如600nm-1750nm)、精度(±20pm)和分辨率(RBW帶寬0.03-1nm)。
- 光功率計
- 用途:測量光功率,廣泛應用于光纖通信、光電子器件測試。
- 特點:覆蓋寬波長范圍(450nm-1800nm),具備高靈敏度和多通道測試能力。
- 可調諧激光源
- 用途:提供波長可調的激光,用于光學測量和校準。
- 特點:支持高動態范圍輸出,具有高波長精度和快速掃描能力(如80nm/s)。
- 多波長計
- 用途:測量輸入信號的波長和功率,可區分多達1000個離散波長。
- 特點:高精度,適用于復雜光信號分析。
二、幾何尺寸與形貌測量儀器
- 干涉儀
- 用途:利用光的干涉現象測量微小距離、角度或表面平整度。
- 類型:邁克爾遜干涉儀、法布里-珀羅干涉儀等。
- 特點:高精度(納米級),常用于光學精密測量。
- 激光測徑儀
- 用途:以激光為光源,測量物體外形尺寸。
- 特點:非接觸測量,適用于工業在線檢測。
- 工具顯微鏡
- 用途:按平面直角坐標和極坐標測量零件尺寸。
- 類型:小型、大型、萬能工具顯微鏡等。
- 特點:高精度,可配備多種測量附件。
- 3D表面輪廓儀
- 用途:測量物體表面三維形貌。
- 特點:采用白光照明,結合CCD攝像機采集相位變化,實現非接觸式測量。
三、光學性能測量儀器
- 橢偏儀
- 用途:分析薄膜厚度或材料光學性質(如折射率、消光系數)。
- 特點:非破壞性測量,廣泛應用于半導體制造和微電子學。
- 偏振分析儀和控制器
- 用途:分析光信號偏振特性,調整光信號偏振狀態。
- 特點:實時測量偏振態,支持快速轉換和校準。
- 光度計
- 用途:測量光強或光源亮度(如照度計、亮度計)。
- 特點:高靈敏度,適用于低光環境測量。
四、特殊應用光學測量儀器
- 光學相干斷層掃描儀(OCT)
- 用途:利用低相干光干涉原理,進行醫學視網膜成像或材料無損檢測。
- 特點:非侵入式,高分辨率。
- 激光雷達(LiDAR)
- 用途:利用激光脈沖測量距離,應用于地形測繪、自動駕駛。
- 特點:高精度,可實時獲取三維空間信息。
- 光子相關光譜儀
- 用途:通過散射光分析納米顆粒尺寸(動態光散射技術)。
- 特點:非接觸式,適用于微小顆粒測量。
五、工業與醫學檢測專用儀器
- 投影光刻機
- 用途:利用紫外光在半導體晶圓上刻蝕微納結構。
- 特點:高精度,是芯片制造的核心設備。
- 內窺鏡
- 用途:通過光纖或透鏡系統觀察人體內部或工業設備內部結構。
- 特點:柔性或剛性設計,適應不同檢測場景。
- 自準直儀
- 用途:測量小角度或直線度,常用于機床導軌校準。
- 類型:光學自準直儀、光電自準直儀、數字式自準直儀。
- 特點:高精度,操作簡便。