【芯片制造】【問題整理】明場檢測和暗場檢測

背景:

什么是明場檢測和暗場檢測

主要功能:

1、在明場檢測中,光源直接照射到樣品表面,透射光或反射光被收集并成像。樣品上的顆粒、劃痕、凹坑會改變光的反射和透射,形成對比,能夠快速掃描大面積樣品。

2、在暗場檢測中,光源以傾斜角度照射到樣品表面,只有被樣品表面缺陷散射或反射的光會被收集并成像,樣品表面平坦部分不會將光散射入檢測器,因而在暗場檢測中,背景是黑暗的,缺陷則是一個個亮點。非常適合檢測微小的顆粒,凹坑和劃痕。

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