知
識星球(星球名:
芯片制造與封測社區,星球號:
63559049)里的學員問:
2,
4,
6寸硅片都有
平
邊,它們有什么作用
?
Flat也可以被稱為定位邊。2,4,6寸硅片不是整個圓形,而是被切掉了一個缺角。用CZ法拉出硅錠后,還未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被確定,就會用金剛鋸在晶錠上切割出一個或多個平邊。因此硅片有1-2個定位邊,長的定位邊在晶圓底部,短的定位邊位置不固定,跟隨晶向與摻雜類型發生變化。 定位邊位置與晶向的關系?
一般2inch的主定位邊長度為15.8mm,4inch硅片主定位邊長度為32.5mm,6inch硅片主定位邊為57.5mm。4英寸硅片次定位平邊的長度約為18 mm,6英寸硅片次定位平邊的長度約為22 mm。
Flat也可以被稱為定位邊。2,4,6寸硅片不是整個圓形,而是被切掉了一個缺角。用CZ法拉出硅錠后,還未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被確定,就會用金剛鋸在晶錠上切割出一個或多個平邊。因此硅片有1-2個定位邊,長的定位邊在晶圓底部,短的定位邊位置不固定,跟隨晶向與摻雜類型發生變化。 定位邊位置與晶向的關系?
一般2inch的主定位邊長度為15.8mm,4inch硅片主定位邊長度為32.5mm,6inch硅片主定位邊為57.5mm。4英寸硅片次定位平邊的長度約為18 mm,6英寸硅片次定位平邊的長度約為22 mm。