低溫真空探針臺是一種用于在低溫或真空環境下進行電學性能測試的精密儀器，其保養和維護對于確保設備的穩定運行和延長使用壽命至關重要。

一、日常清潔與檢查

1、使用后應立即清潔探針臺，尤其是探針、接口和連接器，避免灰塵和雜質影響精度。

2、檢查探針臺的接地是否良好，確保無松動。

3、檢查探針臺風扇是否正常運轉，避免異響。

4、每天記錄探針臺的真空值，正常壓力值應在-50KPA左右，若數值異常需檢查真空泵。

二、定期深度清潔與保養

1、清潔探針臺的臺盤表面、鏡頭和機械手臂等與晶圓接觸的部件，防止灰塵積累。

2、對各軸的絲杠和導軌進行潤滑，確保機械部件的正常運轉。

3、定期檢查真空泵的油位，若油面低于2/3或油質變黑，需及時更換。

4、每年至少進行一次深度保養，包括清洗冷凝器、更換干燥劑、檢查密封圈等。

三、避免碰撞與正確運輸

1、在安裝、操作和運輸探針臺時，應避免碰撞，防止機械部件損壞。

2、運輸時應拔掉電源線，并使用專門的包裝箱，避免接觸任何運動部件。

3、長時間不使用時，應將探針臺放置在干燥、通風、陰涼處，避免陽光直射和潮濕。

四、定期檢查與維護

1、檢查探針臺的真空密封性，確保無泄漏。

2、檢查探針磨損情況，及時更換磨損的探針。

3、檢查探針臺與真空泵之間的接口是否良好，確保腔體的真空性。

4、檢查壓縮機與循環水冷機之間的水管接頭是否漏水，必要時更換。

五、環境控制

1、探針臺應放置在穩定可靠的臺面上，避免高溫、潮濕、震動和陽光直射。

2、保持室內濕度在40%到85%之間，若濕度低于30%，應使用濕度控制器維持在50%～60%。

3、使用時門窗應盡量關閉，以減少外界干擾。