源表（Source Meter Unit, SMU）廣泛用于半導體器件、材料、醫療、發光器件與光通信等行業，測量器件的伏安（I-V）特性曲線、絕緣材料的電阻值（電阻率）、電容的絕緣電阻（漏電流）、光電器件的暗電流或者L-I-V等。

源表的名稱已經清晰的告訴我們，它包含了高精度電源輸出和測量，但它僅僅是電源和萬用表的簡單拼湊嗎？為了簡要說明這個問題，我列出了源表的以下幾個典型的應用場景：

在測量絕緣材料的電阻值（GΩ/TΩ）或二極管的反向漏電流時，通常給被測件DUT施加電壓激勵，并測量對應的電流；

在測量常規小電阻，或者驅動LED發光二極管時，通常給DUT施加電流激勵，測量對應的電壓值；

測量電容器、鋰電池等具備儲能特性器件時，會對其進行充放電的同時，連續記錄電壓和電流。

通常源表都具備電壓源Vs、電流源Is、電流表IM、電壓表VM四種功能，而且能夠任意搭配激勵源和測量功能，按照被測DUT特征選擇對應的模式。如下圖所示：

和直流電源稱輸出端子V+、V-不同，源表SMU通常將源的輸出端子稱為High Force、Lower Force。因此，源和測量的組合有：VFIM、VFVM、IFVM、IFIM（V/I激勵F + V/I測量M&#